真空対応テンプ・プレート　TEMP-PLATE® Irreversible Temperature Recorders

半導体製造装置メーカーの要望により、世界で初めて真空内温度測定ラベルを世に送り出しました。
現在は、真空環境における新しい分野でも、半導体で培った信頼から、 世界を代表する企業で採用されています。

  • [真空対応とは]
  • プラズマの影響を受けにくいカプトンフィルムでカバー
  • カプトンテープの重ね貼りの必要がなく作業工数短縮
  • 裏面印刷のため真空中の印刷インク飛散防止
    （アウトガスを最小限に抑えます）
  • ※真空内での温度精度を保証するものではありません。

真空対応ミニパーツ P/N 430V( 3 x 8mm ) 　RoHS対応品

パーツナンバー温度レンジ（℃）
430V-04040-43-46
430V-04848-54-60
430V-06565-71-77
430V-08382-88-93
430V-09999-104-110
430V-115115-121-126
430V-132132-137-143
430V-148148-154-160
430V-165165-171-176
430V-182182-187-193
430V-198198-204-210
430V-215215-223-232
430V-240240-248-260
1ケース　10枚入り

真空蒸着、スパッタリング装置

真空対応ミニパーツ P/N 450( 5 x 16mm ) 　RoHS対応品

パーツナンバー温度レンジ（℃）
450-04343-48-54-60
450-06565-71-76-82
450-08787-93-98-104
450-110110-115-121-126
450-132132-137-143-148
450-154154-160-165-171
450-176176-182-187-193
450-198198-204-210-215
450-223223-232-240-254
1ケース　10枚入り

ウェハ・エッチング工程の条件出し

真空対応パーツ P/N 101-4V( 10 x 21mm ) 　RoHS対応品

パーツナンバー温度レンジ（℃）
101-4V-03737-43-46-54
101-4V-04343-48-54-60
101-4V-06565-71-76-82
101-4V-08282-93-110-121
101-4V-08787-93-98-104
101-4V-09393-98-104-110
101-4V-09593-121-148-176
101-4V-110110-115-121-126
101-4V-132132-137-143-148
101-4V-154154-160-165-171
101-4V-176176-182-187-193
101-4V-177176-204-232-260
101-4V-198198-204-210-215
101-4V-199198-210-223-232
101-4V-223223-232-240-254
1ケース　10枚入り

FPD製造工程におけるガラス基盤の温度観察

真空対応パーツ P/N 101-6V( 10 x 29mm ) 　RoHS対応品

パーツナンバー温度レンジ（℃）
101-6V-04343-48-54-60-65-71
101-6V-07676-82-87-93-98-104
101-6V-110110-115-121-132-137
101-6V-143143-148-154-160-165-171
101-6V-176176-182-187-193-198-204
101-6V-215215-223-232-240-248-260
1ケース　10枚入り

太陽電池製造プロセス

真空対応パーツ P/N 101-8V( 10 x 38mm ) 　RoHS対応品

パーツナンバー温度レンジ（℃）
101-8V-04343-48-54-60-65-71-76-82
101-8V-08787-93-98-104-110-115-121-126
101-8V-132132-137-143-148-154-160-165-171
101-8V-176176-187-198-210-223-232-240-260
1ケース　10枚入り

バッテリー製造装置